3月23日凌晨起，台湾发生多次地震，其中震级最高的为6.6级。震央虽位于花莲近海，但台南、台中与新竹都感受到明显的摇晃，根据台湾气象部门报告显示，分别为接近4级到2级不等，台积电、联电等半导体厂，一些敏感机台当机，需要校正后才能恢复生产，整体生产影响有限。
晶圆代工龙头台积电表示，大部分厂区都没有达疏散标准，只有零星疏散，也都已回线，部分机台受影响，后续厂区环境巡检无异常。台积电发言人高孟华表示，部分设备受到地震影响，公司仍在对地震的影响进行最终评估，但预计影响有限。
联电表示，各厂区都未达到疏散标准，一些机台因自我保护当机，重新开启，对整体业绩表现并无影响。
世界先进声明，关于23日凌晨1点41分在花莲县芮氏规模6.6之地震，公司位于新竹的晶圆一厂、二厂与五厂测得震度达三级。此地震对公司生产之影响正在评估中。
力积电有若干机台自动暂停，目前已陆续回线生产，预计23日中午前完全恢复正常。经评估产线没有晶圆报废情况，停线仅造成约0.1天的产能损失，未来将以调节生产计划方式来弥补，对力积电营收没有影响。
面板方面，群创表示，启动厂区设备防震保护暂时停机，已逐步复归中，人员皆安全，对营运没有影响。
友达声明，地震发生第一时间，以确保人员安全为首要，待确认厂内安全无虞后进行设备检测，部分机台安全性停机，目前持续复归中，整体营运不受影响。
彩晶表示，南科厂部分人员疏散都平安，生产线已经恢复。